Optical parallel

...Surface accuracy is usually evaluated by the Newton rings created between the surface and a reference surface, and the maximum deviation from flatness is about 0.05 to 0.3 μm, but recently high-precision ones with a deviation of about 0.005 μm have been made. Transparent glass plates made so that both sides are flat and parallel are called optical parallels, and are used to measure flatness and parallelism by light interference. The deviation from parallelism between the two sides, i.e. the maximum difference in thickness, is about 0.2 to 0.4 μm.

*Some terminology explanations that mention "optical parallel" are listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…面の精度はふつう基準面との間に作られるニュートンリングで評価され，平面からの外れの最大値は0.05～0.3μm程度であるが，最近は0.005μm程度の高精度のものも作られている。透明ガラス板の両面が平面かつ平行に作られたものはオプティカルパラレルoptical parallelと呼ばれ，光の干渉による平面度，平行度の測定に用いられる。両面の平行からの外れ，すなわち厚さの最大差は0.2～0.4μm程度である。…

※「optical parallel」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報