Extreme ultraviolet region

...When the wavelength is below 100 nm, thin metal films are used as transparent materials, but they have poor mechanical strength, and windows made from them cannot withstand atmospheric pressure. The range from about 100 nm to 30 nm is sometimes called the extreme ultraviolet region. Up to this range, a normal incidence type spectrometer can be used, in which ultraviolet light is incident at an angle close to perpendicular to the diffraction grating, but for wavelengths below this, only a so-called oblique incidence type spectrometer, in which the light is incident just above the grating surface, can obtain a good reflectance. ...

*Some of the terminology that refers to the "extreme ultraviolet region" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…波長が100nm以下になると薄い金属膜などが透過材として用いられるが，力学的強度は弱く，これで作った窓は大気圧には耐えられない。だいたい100nmから30nmの範囲を極紫外領域ということもある。この領域までは回折格子に垂直に近い角で紫外線を入射させる直入射型の分光器が使用できるが，これ以下の波長になると，格子面すれすれに光を入射させる，いわゆる斜入射型の分光器でないと良好な反射率が得られない。…

※「極紫外領域」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報