Residual gas analyzer

...In principle, it is possible to calculate the composition and partial pressure of the components from the data obtained, but the accuracy is poor and this is rarely done. Since it is used for qualitative or semi-quantitative analysis, it is often called a vacuum analyzer or residual gas analyzer (RGA). [Katsuya Nakayama]...

*Some of the terminology that refers to "residual gas analyzer" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…得られたデータから成分の組成と分圧とを算出することは，原理的には可能であるが，精度が悪く，ほとんど行われていない。定性的な，あるいは半定量的な分析に使用されるので，真空分析計vacuum analyzer，あるいは残留ガス分析計residual gas analyzer(RGA)と呼ばれることが多い。【中山 勝矢】。…

※「residual gas analyzer」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報