Photo-etching

...In addition to the two methods mentioned above, lift-off, which applies thin film technology, is also used as a microlithography technique.
[Photo-etching]
This method involves forming a photoresist pattern on the substrate that needs to be processed, then etching it with a solution that dissolves the substrate to create holes or depressions (Figure). The substrate is often metal, but it can also be applied to glass and plastic.

*Some of the terminology that mentions "photo-etching" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…またマイクロリソグラフィーの技術として前出の二つの方法以外に薄膜技術を応用したリフトオフも用いられている。
［フォトエッチングphoto‐etching］
　加工を必要とする基板に，フォトレジストのパターンを形成した後，基板を溶解する溶液でエッチングして穿孔もしくはくぼみを作る方法である(図)。基板は多くは金属であるが，ガラスやプラスチックにも適用可能である。…

※「photo-etching」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報