Ejector Booster - Ejector Booster

...In addition, as the internal pressure decreases, the gas in the gap becomes a molecular flow, the amount of leakage is significantly reduced, and good volumetric efficiency is maintained up to a high vacuum. In addition, the steam injection pump (ejector booster) used as a booster pump consists of a nozzle, diffuser, and suction chamber, and ejects oil vapor from the nozzle at supersonic speed to suck in the gas in the suction chamber, pass through the diffuser, and release it from the outlet. The pressure reached by the single-stage nozzle is around 10 ^-3 Torr, but two-leaf pumps are currently more commonly used because of their usefulness.
[Molecular pump]
Invented by Göde (1913), a rotor rotates at high speed inside a casing, and the gas in the grooves between the casing and the rotor is carried in the direction of rotation by its viscosity, creating a pressure difference.

*Some of the terminology that refers to "Ejector Booster" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…また，内部圧力の低下とともにすきま内の気体は分子流となり，もれ量が著しく減少し高真空まで良好な体積効率が維持される。そのほかにブースターポンプとして用いる蒸気噴射ポンプ(エゼクターブースター)は，ノズル，ディフューザー，吸引室からなり，油の蒸気を超音速でノズルより噴射させて吸引室の気体を吸引し，ディフューザーをへて出口から放出するもので，1段ノズルでの到達圧力は10^－3Torr前後であるが，有用性の比較から現在は二葉ポンプが多用される。
［分子ポンプ］
　ゲーデにより発明(1913)されたもので，ケーシング内部をローターが高速回転し，ケーシングとローターの溝にある気体がその粘性で回転方向に運ばれ圧力差が生ずる。…

※「エゼクターブースター」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報