Chemical membrane formation

…(1) The formation of a specific type of thin film on the wafer surface. This can be done by oxidation, chemical deposition, evaporation, sputtering, etc. (2) The subjection to high temperatures in a specific type of gas atmosphere. …

*Some of the terminology that refers to "chemical film formation" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…(1)ウェーハー表面に特定の種類の薄膜を形成すること。これには，酸化，化学的膜形成，蒸着，スパッターリングなどの方法がある。(2)特定の種類のガス雰囲気中で高温状態にすること。…

※「化学的膜形成」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報