atom-probe FIM

...In addition, the field evaporation method has made it possible to evaporate and remove one atomic layer at a time from the sample surface with precise control, so by alternating this with field ion microscope observation, it has become possible to obtain information on the three-dimensional atomic arrangement of the sample. Furthermore, from around 1970, a device was developed that added a mass spectrometer that can analyze single heterogeneous atoms to the field ion microscope in order to identify the type of each atom observed, and this device is called the atom-probe field ion microscope (atom-probe FIM). Field ion microscopes and atom-probe field ion microscopes are becoming powerful research tools in a wide range of fields in metallurgy and solid state physics, such as crystal lattice defects, the initial process of phase transformation, oxidation, surface adsorption, diffusion, radiation damage, and the crystallization process of amorphous alloys. ...

*Some of the terminology that refers to "atom-probe FIM" is listed below.

Source | Heibonsha World Encyclopedia 2nd Edition | Information

…また電界蒸発法によって試料表面から1原子層ずつ正確に制御しながら蒸発除去することができるようになったので，これと電界イオン顕微鏡観察とを交互に行うことによって試料の三次元的な原子配列の情報を得ることも可能となった。さらに1970年ころから観察した個々の原子の種類を識別するため，電界イオン顕微鏡に単一異種原子を分析できる質量分析計を付加した装置が開発され，アトム･プローブ電界イオン顕微鏡atom‐probe FIMと呼ばれている。　電界イオン顕微鏡およびアトム･プローブ電界イオン顕微鏡は結晶格子欠陥，相変態の初期過程，酸化，表面吸着，拡散，放射線損傷，非晶質合金の結晶化過程など，金属工学および固体物理学の広い範囲にわたって有力な研究手段となりつつある。…

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出典｜株式会社平凡社世界大百科事典 第２版について | 情報